溫度特性三坐標丈量機是一種高精度的計量設備，為了保持其繼續的高精度，需求針對安裝環境的溫度進行補償，這一起，丈量機各部件溫度特性也是一項重要目標。三坐標丈量機通常會常用的幾種材質，包括：花崗巖、鋁合金、陶瓷、鋼等。
高精度丈量影響三坐標精度硬件有：導軌（X/Y/Z軸）、軸承和電機驅動（氣浮軸承和馬達）、長度丈量體系（光柵尺及讀數頭號）、傳感器（探頭）三坐標丈量機選用梯形橫梁及下燕尾結構（獲得專利），確保剛性前提下，有用減輕結構分量，進步運動性能并實現中心傳動，減小阿貝差錯，進步精度。
工藝性及經濟性橋式三坐標丈量儀還有比較大的逆向工程的工作能力，也是一種比較理性的數字化的運用東西。由于丈量機的精度更高，有助于進行工件評價，還因為掃描能夠提供比其它丈量機的單點丈量更詳細的幾何形狀、形式和尺寸信息。
再有丈量機還能夠與觸摸式和非觸摸式掃描測頭進行組合，如果與丈量軟件相結合運用，還能夠具有比較強壯的掃描的功能，能夠完成一些比較復雜的工件與模型的復制，而其實直接的進入程序，在這種情況下會使出產效率得到進步。
